近年，浙江飛旋科技有限公司研發(fā)成功“基于交叉反饋控制的FS450型分子泵磁軸承”，這是個(gè)國(guó)產(chǎn)磁軸承產(chǎn)品，磁軸承又稱主動(dòng)磁懸浮軸承，是一種轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸的新型高性能軸承。它由機(jī)械部件、電控系統(tǒng)、傳感器和輔助軸承等構(gòu)成。利用電磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空間，具有無機(jī)械磨損、降耗低、允許轉(zhuǎn)速高、噪聲少、壽命長(zhǎng)、無潤(rùn)滑介質(zhì)等優(yōu)點(diǎn)。
選擇磁軸承作為分子泵轉(zhuǎn)子的支承，可以從根本上解決傳統(tǒng)軸承潤(rùn)滑帶來的潤(rùn)滑油脂的油蒸汽返流對(duì)真空室污染等問題，使磁軸承真空分子泵成為集成電路制造設(shè)備首選的超高真空獲得設(shè)備。此產(chǎn)品研發(fā)成功從而在分子泵應(yīng)用領(lǐng)域打破了國(guó)外的技術(shù)壟斷，使我國(guó)成為繼法國(guó)、美國(guó)、加拿大、德國(guó)等少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家之后擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)磁軸承技術(shù)產(chǎn)品的國(guó)家。