捷太格特(JTEKT)已成功開(kāi)發(fā)出,在特殊環(huán)境用EXSEV軸承系列中,可耐高溫300℃的潤(rùn)滑脂封入型軸承。該開(kāi)發(fā)品,使要求耐熱性的半導(dǎo)體制造裝置設(shè)備實(shí)現(xiàn)了更長(zhǎng)使用壽命,為削減客戶的維修費(fèi)做出了貢獻(xiàn)。
近年,隨著半導(dǎo)體制造流程的縮短,高速運(yùn)轉(zhuǎn)的制造裝置內(nèi)的溫度有變高的傾向。以前的潤(rùn)滑脂,因?yàn)槌^(guò)了200℃就會(huì)導(dǎo)致油分的蒸發(fā),增稠劑因?yàn)榘l(fā)生熱分解而不能使用,所以在高溫環(huán)境下,只能使用固體潤(rùn)滑劑,但是由于固體潤(rùn)滑劑壽命短,保修時(shí)間短,因此急需開(kāi)發(fā)出具有更高耐熱性·耐久性的特殊環(huán)境用軸承。
本開(kāi)發(fā)品,因使用不容易蒸發(fā)的基礎(chǔ)油和強(qiáng)熱分解型增稠劑組合而成的潤(rùn)滑脂,所以可耐300℃高溫。并且,與以往的固體潤(rùn)滑劑相比較,壽命延長(zhǎng)了6倍以上,大幅度提高了性能,在要求耐熱性的設(shè)備領(lǐng)域中,為削減維修費(fèi)和提高工作效率做出了貢獻(xiàn)。本開(kāi)發(fā)品已經(jīng)于2018年12月在捷太格特集團(tuán)旗下的德島工場(chǎng)、國(guó)分工場(chǎng)和龜山工場(chǎng)等基地量產(chǎn),面向全球的半導(dǎo)體制造企業(yè)銷售。